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自动充气平衡精密隔振光学平台 自动充气光学平台
型号:HJ02-QPFS-2
名称 自动充气平衡精密隔振光学平台 主要参数:平面表面不平度小于0.10mm/㎡； 表面粗糙度：小于0.8um ；固有频率：1.0Hz～1.8Hz；振幅不大于：1.2um；重复定位精度：±0.05mm；载重：800kg “自动充气平衡精密隔振光学平台"参数要求 平台规格(mm）：2000*1500*800； 支撑：4支撑；台面高度：200mm； 台面厚度： 8mm； M6螺孔孔距25mm；主要参数: 平面表面不平度小于0.10mm/㎡ 表面粗糙度：小于0.8um 固有频率：1.0Hz～1.8Hz 振幅不大于：1.2um 重复定位精度：±0.05mm 载重：800kg
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